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鍍層膜厚的分類

  • 發布日期:2020-09-16      瀏覽次數:183
    • 薄膜是指沿襯底垂直方向堆疊的1~104個原子層或分子層。在這個方向上,薄膜具有微結構。
      理想的膜厚度是指基底表麵和膜表麵之間的距離。因為薄膜隻在厚度方向上是微觀的,其他二維方向有宏觀尺寸。因此,要表達薄膜的形狀,必須用宏觀的方法,即長、寬、厚的方法。所以膜厚不僅僅是宏觀概念,更是微觀固體線性。
      事實上,現有的表麵是不均勻的、連續的,薄膜內部表麵可能會有針孔、雜質、晶格缺陷和分子吸附,因此實際上很難嚴格定義和準確測量薄膜的厚度。膜厚的定義應根據測量方法和目的來確定。
      根據經典模型,物質的表麵不是抽象的幾何概念,而是物理概念,由剛性球體的原子(分子)緊密排列而成。
      形狀膜厚:dT是視覺形態的膜厚,通常以um為單位。DT隻與表麵原子(分子)有關,包含薄膜內部結構的影響;
      質量膜厚:dM反映膜中所含物質的量,通常以μg/cm2為單位,消除了膜內部結構的影響(如缺陷、針孔、變形等)。);
      物理膜厚:差壓在實際應用中很有用,易於測量。與薄膜的內外結構沒有直接關係,主要取決於薄膜的性質(如電阻率、透光率等)。)

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